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本产品是以对被印于Ceramic Green Sheet上的Pattern的外观不良进行全量检查为目的的光学式Vision检测设备。3D USCAN的特点是利用三维检测方法测量Sheet表面及Pattern高度,所以与常规的检测设备相比,其优势是能够检测出随着Pattern的厚度(高度)变化而产生的品质不良等。 反之,2D USCAN则考虑到Pattern和Sheet之间的反射特性差异,采用通过投射设计照明所获得的影像信息进行检测的方式,可用更快的Throughput进行检查,3D USCAN的优点在于,可进行3D检测,且在进行2D USCAN的同时,还可选择进行2D检测。 |
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